高市府經發局109年透過地方型SBIR計畫協助新創埃爾思科技研發10奈米以下客製奈米探針，作為先進半導體製程檢 …

高市府經發局109年透過地方型SBIR計畫協助新創埃爾思科技研發10奈米以下客製奈米探針，作為先進半導體製程檢測設備關鍵耗材，111年訂單上看300萬元，並與國際大廠合作開發以原子級針尖為核心的氣體場離子源聚焦離子束設備（GFIS-FIB），目前已取得美國專利，第一代設備預計於113年上市。

埃爾思董事長兼總經理張維哲擁有成大機械博士學位，曾任職中研院物理所多年，108年在高雄成立埃爾思科技（ALES Tech），核心團隊專精電化學與表面處理技術，投入先進半導體製程測試必需的聚焦離子束設備及奈米探針研發，109年獲高雄市地方型SBIR補助，完成多項客製奈米探針技術研發，今年獲竹科半導體大廠供應鏈採購。

張維哲指出，因應半導體市場需求，埃爾思開發針尖曲率更小的奈米探針用於電性檢測，同時更掌握用於先進半導體晶圓檢測、電路修補與特徵加工，原子等級的氣體場離子源聚焦離子束設備（GFIS-FIB）開發技術，超前部署未來半導體先進製程需求商機。

張維哲感謝經發局透過SBIR計畫補助提升公司研發量能，並透過進駐KO-IN智高點的誠研創新科技投資育成公司，給予公司投資、合作與技術探勘，爭取科研創業資源，推動技術商業化。今年除取得逾300萬元奈米探針訂單，將積極與代理商合作布局新加坡等東南亞及其他海外市場。（記者／吳聞）

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