中國晶片產業將被鎖喉?美國擬對中封殺深紫外光設備
記者黃仁杰/編譯
中國半導體產業恐再遭重擊。美國國會正推動新法,擬禁止關鍵晶片製造設備出口至中國,其中鎖定的核心就是ASML的深紫外光(DUV)微影設備。

根據美國參議院外交委員會釋出的資訊,跨黨派議員正推動《MATCH法案》,計畫全面限制DUV設備的「銷售與維修」,理由是相關技術可能被用於提升中國軍事能力。該法案也提議,將包括華為、中芯國際、華虹、長鑫存儲(CXMT)、長江存儲(YMTC)等中國半導體企業,納入類似實體清單的限制範圍,進一步阻斷其取得國際資源的能力。
事實上,在EUV設備早已被封鎖的情況下,DUV已成為中國晶圓廠唯一可行的先進製程工具。以中芯國際為例,目前透過多重曝光技術,搭配ASML的DUV設備,已能實現類7奈米製程(N+1、N+2)。而在記憶體領域,長鑫與長江存儲也高度依賴DUV設備來擴充產能。
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業界指出,若DUV出口進一步受限,將直接衝擊中國擴產計畫,拖慢其先進製程發展進度。儘管中國正積極發展本土設備,但目前仍主要停留在28奈米等成熟製程,與先進製程仍有明顯落差。
美國參議員Jim Risch表示,《MATCH法案》目的是強化出口管制,防止對手取得無法自行生產的「關鍵瓶頸技術」,並透過與盟友協調,封堵維修與特定企業規避管制的漏洞,以維持美國在AI競爭中的技術領先地位。
值得注意的是,中國市場對ASML的重要性不容忽視。根據公司最新財報,中國約占其整體營收近20%,且幾乎全數來自DUV設備銷售。若新法正式實施,ASML恐將失去這一大市場,地緣政治風險進一步升高。
隨著美中科技對抗持續升溫,DUV設備正成為新的戰略焦點。一旦禁令落地,不僅中國半導體產業將面臨重大挑戰,全球供應鏈格局也可能再次出現劇烈變動。
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