英特爾測試中資背景設備商製程工具 牽動美國晶片國安疑慮

記者黃仁杰／編譯

根據路透社獨家消息，英特爾（Intel）今(2025)年曾測試一家與中國關係密切、且旗下海外單位遭美國制裁的半導體設備商所提供的晶片製程工具。此舉正值美中科技角力升溫之際，在華府引發跨黨派對國家安全的高度關切。

報導指出，英特爾測試的設備來自 ACM Research，該公司總部設於美國加州佛利蒙，是一家晶片製造設備供應商。ACM 旗下位於上海與南韓的兩家子公司，已於去年被美國政府列入制裁名單，理由是涉嫌支援中國政府將商用技術用於軍事用途，並協助發展先進晶片或相關製程設備。ACM 對相關指控予以否認。

知情人士透露，英特爾測試的是兩台所謂的「濕式蝕刻」（wet etch）設備，該設備主要用於移除矽晶圓上的材料，是半導體製造的關鍵製程之一。這些設備被評估是否可用於英特爾最先進的 14A 製程，該製程預計於 2027 年進入初步量產階段。

路透社表示，目前無法確認英特爾是否已決定將該設備正式納入 14A 製程，也未發現英特爾違反任何美國法規的證據。英特爾則拒絕回應是否曾針對 14A 測試 ACM 設備，但在聲明中強調，ACM 的工具「並未用於英特爾的半導體量產流程」，且公司一向遵守所有適用的美國法律與法規。

ACM 則回應，無法評論「特定客戶合作細節」，但證實其美國團隊已將來自亞洲業務單位的多套設備銷售並交付給美國本土客戶。ACM 也指出，公司已揭露向一家「美國大型半導體製造商」交付三套設備進行測試，其中部分設備已達到既定效能標準。

不過，英特爾如今部分股權由美國政府持有，若考慮在最先進製造產線中引入與受制裁單位有關的設備，仍引發國安派人士強烈疑慮。對中國態度強硬的政策圈人士指出，相關風險包括英特爾敏感製程技術可能間接外流至中國、中國背景設備商排擠可信賴的西方供應鏈，甚至不排除遭北京進行潛在破壞或滲透。

在地緣政治層面，報導指出，隨著北京對稀土等關鍵礦物實施出口管制，美國總統川普近期已淡化多項對中國的強硬晶片出口政策，並於本週一拍板允許輝達（NVIDIA）向中國銷售其第二高階的 AI 晶片。然而，隨著中國設備商逐步進軍全球市場，美國國會兩黨議員的憂慮正在升高。

本月稍早，美國國會重新提出立法草案，試圖禁止已獲數十億美元政府補助的晶片製造商，在其政府支持的擴產計畫中使用中國製設備。前白宮國安會官員、現任外交關係協會（CFR）資深研究員 Chris McGuire 直言，英特爾測試 ACM 設備一事「凸顯美國科技保護政策存在嚴重漏洞，這種情況不應被允許」。

來源：路透社