科技戰持續！三星、SK海力士評估導入中國半導體設備 防堵出口管制風險

記者彭夢竺／編譯

三星電子與SK海力士正評估中國半導體設備商中微半導體設備的晶片製造設備，作為未來美國進一步收緊出口管制時的備案。消息人士透露，2家公司約2年前便開始測試AMEC的蝕刻設備，目前仍屬評估階段，尚未決定是否大規模導入。

此舉反映出美國限制中國半導體發展的政策，反而促使中國設備商有機會打入外資晶圓廠供應鏈，也讓中國半導體設備產業迎來新的成長契機。

測試中國設備 因應美國政策變數

根據外媒《路透社》報導，三星與SK海力士約2年前開始測試AMEC蝕刻設備，當時市場擔心，美國是否會持續允許兩家公司將美國半導體設備輸入中國工廠。

目前測試仍未進入量產導入階段，但若未來獲得採用，將成為中國半導體設備商取得國際一線記憶體大廠認可的重要里程碑。

不過，三星向《路透社》表示，他們並未在中國工廠測試AMEC設備，也未考慮這麼做；SK海力士則拒絕評論。AMEC與負責執行美國出口管制的美國商務部工業暨安全局（BIS）也未回應。

美國出口限制持續升高

美國於2023年將三星及SK海力士中國廠列為「經認證終端使用者（Validated End User，VEU）」，可免除逐案申請許可，引進部分受管制的美國設備。不過，美方已於2025年撤銷VEU資格，之後改為核發一年期許可，允許兩家公司於2026年間持續向中國工廠輸入晶片製造設備。

消息人士指出，2家公司擔憂，美國未來限制範圍可能不只涵蓋新設備，也可能進一步限制既有美國設備的維修、保養及零組件更換，因此提前尋找中國設備商作為替代方案。

目前規劃主要是維持現有產線正常運作，而非擴充中國產能。

中國廠高度依賴美系設備

目前三星位於西安設有NAND Flash工廠；SK海力士則在大連生產NAND Flash，在無錫設有DRAM廠。這些工廠主要使用應用材料、科林研發等美國設備商提供的蝕刻設備。

若未來美國限制設備維修服務，中國設備商將有機會填補供應缺口。

中國設備商有望取得國際認證

對AMEC而言，若產品最終獲三星或SK海力士採用，將成為極具代表性的商業背書。目前中國設備商在先進曝光機及部分檢測設備仍落後國際競爭對手，但在蝕刻、薄膜沉積、清洗及CMP平坦化等設備領域，技術差距已逐漸縮小，且價格普遍比國際品牌低20%至30%。

研究機構TechInsights副董事長Dan Hutcheson指出，中國設備價格優勢明顯，已逐步提升市場競爭力。AMEC目前已供應中國記憶體大廠長江存儲（YMTC），也因此讓三星及SK海力士更有信心評估其設備成熟度。

恐衝擊全球半導體設備版圖

若中國設備持續突破，長期恐對應用材料、科林研發、KLA，以及日本、歐洲設備商形成競爭壓力。中國仍是全球設備商的重要市場。以應用材料為例，2025財年中國市場營收達85.3億美元，占總營收約30%。

不過，即使三星與SK海力士完成設備驗證，後續仍須面臨漫長認證程序、售後服務網絡不足、智慧財產權疑慮，以及美國可能施加的政治壓力。此外，2家公司是否會在韓國本土工廠採用中國設備，目前仍充滿不確定性。

中國設備市占率持續攀升

德意志銀行預估，北方華創、AMEC、Piotech及ACM Research等中國設備商，2026年營收都將突破10億美元。今年4家公司合計可望拿下中國280億美元晶圓製造設備市場25%至30%的市占率；若排除曝光機及量測設備，中國設備商市占率更有機會逼近40%。

資料來源：路透社