【學長姊帶路】台積電 工程師 工作甘苦談

原標《F18 EBO Process 一年工作經驗分享》

文/DCARD 網友

EBO(電子束作業處)在台積電中被認為是支援部門,支援晶片製作,所以EBO的系統與Fab Module不太一樣,網路上的相關文章比較少,所以我貢獻一點讓人參考。

【學長姊帶路】台積電 工程師 工作甘苦談
台積電的產線工作絕對不輕鬆,但是經濟報酬不算差。

EBO,負責將客戶設計的layout製作成光罩,給黃光使用。EBO簡單分為DP(資料處理)與MM(光罩製作),MM工程部又分成Writer(電子束曝光)、Process(光罩製程)、Clean(光罩清潔)、Inspection(光罩缺陷檢測)、Repair(光罩缺陷修補)。我在Process section,因此分享Process經驗。

Process工程師是7成製程3成設備,工作簡單分為產品部分(Lot Owner)以及機台部分(Tool Owner)。

產品有光學光罩與EUV光罩,機台包含顯影機、光阻塗佈機、乾蝕刻機、CDSEM機台、量膜厚OCD機台、AFM機台。

工程師需要熟悉負責光罩層別的曝片參數,writer file架構,製程recipe,defect型態與成因,製作產品手帳維持光罩製程指標CDU(critical dimension uniformity)、MtT(mean to target)、Proximity的表現。

Process工程師與製造部副課、線上作業員需要緊密合作,產品有clip催促進度(帝王片、24hr on-call lot、全線抱著跑的片子),製造部會派工機台,聯絡工程師解hold lot與處理機況,所以工程師也需要有製造的知識。如果clip滑掉,副理主管可能需要去站OP。

系統部分有:作帳用KMS system、自動下貨TAP、曝片檔案編鍋Writer Catalog、IMS系列曝光機曝片參數Config center、Nuflare系列曝光機曝片參數與蝕刻設定Infotree、蝕刻的undercut table、自動化recipe比對RMS、monitor機台參數FDC、建立產品自動化的KMS Ucard、設定機器人機台派工MM Dispatch、機台維護ePM、機台維護PM Back、機台過貨設定smart dispatch、blank assign的eMaterial、CDSEM量測框小精靈、提自動化PMO……等。

每個process工程師至少會被分配一台大機台(蝕刻機、顯影機、光阻塗佈機)與一台小機台(CDSEM、OCD)。機台的部分需要簡單的日常清機 PM,機台的index整理追蹤,複雜的年保季保需要請Vendor,還有關於機台的CIP。

Process工程師需要熟悉defect型態(OS, helf etch,peeling等等),了解各種defect在製程中可能成因,針對不同的defect做出相應的AR。

此外,還有off-line project的工作,有的類似碩班研究設計實驗,像是關於製程改進的CIP實驗,光阻塗布可調參數:主轉速、副轉速、VUV、光阻厚度……,顯影可調參數:static、dynamic、TMAH濃度、旋轉速度、puddle與光罩距離……,蝕刻可調參數:氣體種類、氣體流量、壓力、source power、bias power、End point detection algorithm……。如果有需要進行製程變更,需要準備報告E1TB。有個人的project也有整個部門的project,部門的project像是process matching、製作qual lot。有些實驗會需要編輯writer file,自行用CAD軟體設計實驗layout,或是請OPC協助設計layout。

每天會有晨會跟夕會,看產品的表現與機況、每日defect,每週會有會議報告project進度。

值班分為日值班、小夜班、假日值班,日值班、小夜班是週ㄧ到週五,假日值班是週末或是連續假日其中一天。值班頻率:日值班、小夜班、假日值班約1個半月1次。

工時部分:一般是早上8點左右到,晚上8-9點離開公司,幾乎每天都會進無塵室,如果不喜歡常常進無塵室的話,建議另尋他處。平日值班大部分7:30到公司準備daily report,最早可能6點半就會接到電話,有些人會更早,晚上8-9點離開。如果借到機台的時間比較晚,也有可能做實驗到更晚。因為EBO沒有排大夜班,所以有緊急狀態的話半夜需要接電話,視情況可能需要回公司處理,所以每次值班前可能需要拜拜祈福。

小夜班15:30-00:30,通常解產線Hold lot,寫defect report還有daily report大概到03:00離開,如果預期不好遇到機台當機,也有可能一路解機況到天亮 假日值班,一般早上8:30到晚上8:30左右,如果有緊急情況(機台當機,曝片到站但是沒有blank可用,24hr on-call lot卡住)可能更早或更晚被call。

經濟報酬的部分,N=61.2k

本薪12N+年終2N+兩次季分紅2N*2+運動會12k+18廠激勵金10k+

春節3k+端午1.5k+中秋1.5k+年終摸彩1k+勞動節1k+生日1.5k

小夜班加給約1.3k

每個月加班費平均約8-12k

如果有員工購股每個月多2k

勞保健保預扣所得稅與福利金每個月約5.5k

最後是心得部分,台積電的產線工作絕對不輕鬆,但是經濟報酬不算差。Process工程師必須熟悉複雜分散而有時有漏洞的系統,避免人為操作失誤。需要具備同時處理很多事情的能力,懂得分類事情的輕重緩急。與製造部緊密合作,需要時常進無塵室與作業員搏感情。同時,還要具備物理化學知識,懂得recipe設計背後的科學原理,閱讀相關期刊,藉此設計實驗驗證模型。新人期3個月是最好充實本職學能的時候,第1-2個月基本上都在看線上課程,熟悉光罩製程flow,第3個月開始假日跟值班,跟著前輩學習值班技能,需要主動進取才能在紛紛擾擾的日常中學到基本知識。主管的好壞與個人的休養有關,免不了在晨會體驗被飆罵,這個部分需要自我的心理調適。這一年的EBO18生活讓我確實體驗到「在review中成長,在highlight中茁壯」。

祝福工作版的朋友可以找理想的工作!

本文由 DCARD 網友 授權轉載, 原文:《F18 EBO Process 一年工作經驗分享》

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